華南師范大學(xué)未來科技研究院對石牌校區(qū)產(chǎn)業(yè)大樓一樓進行改造,建設(shè)科研級光學(xué)平臺,設(shè)置一個千級實驗室和一個萬級實驗室。施工方案包括潔凈室墻面地面改造、電力系統(tǒng)改造、潔凈空調(diào)系統(tǒng)安裝、氣路系統(tǒng)安裝、純水系統(tǒng)安裝等。
項目主要功能:對實驗室進行升級,將其潔凈系統(tǒng)達到萬級與千級的級別;電力系統(tǒng)滿足柔性光子芯片核心設(shè)備的運行需求。
項目主要用途:為柔性光子芯片相關(guān)設(shè)備提供一個高質(zhì)量的無塵環(huán)境,從而使實驗的準確性與安全性更高。根據(jù)大型貴重設(shè)備的使用要求對場地進行升級,放置設(shè)備包括脈沖激光沉積系統(tǒng)、等離子體增強型化學(xué)氣相沉積裝置、真空多靶磁控濺射設(shè)備、超高真空電子束蒸發(fā)設(shè)備、真空等離子清洗機、雙光子無掩膜飛秒激光光刻系統(tǒng)、飛秒激光微加工系統(tǒng)、聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)、高精度光刻機、高精密3D打印機、納米材料沉積柔性印刷電子設(shè)備、PDMS微流控芯片加工平臺、超快激光器OPO、OPA等。